苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

珂锐弘扬流体控制系统(图)-真空管道工程-真空管道

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

　　实验室气路改造安全要求

　　1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。

　　2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶，以防止吸回瓶中的现象发生，并造成危险。

　　3、如果气瓶发热或发生回火，立即关闭气瓶阀门，将气瓶移出室外空矿坑，将气瓶浸入冷水中，或倒入大量冷水降温，慢慢打开阀门并继续冷却，直到气体释放。

　　4、乙i炔、氢气和液化石油i气是危险的。

　　5、氧气虽然不易i燃，但助燃性强，不得接触污物、有机物。

　　6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。

气体减压阀是气动调节阀的必备配件

高纯气体管道工程介绍气体减压阀是一种自动降低管路工作压力的专门装置，它可将阀前管路较高的液体压力减少至阀后管路所需的水平。减压阀的构造类型很多，按结构形式可分为薄膜式、弹簧薄膜式、活塞式、杠杆式和波纹管式等。

气体减压阀是气动调节阀的一个必备配件，主要作用是将气源的压力减压并稳定到一个定值，以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制，因此在操作过程中的清洁事项也要多加注意。

气体减压阀的阀杆，阀瓣，涡轮，手轮，螺母，支架等滑动部位比较容易沾上很多灰尘，油污以及脏物等，对阀门会产生磨损和腐蚀，因此一定要保证阀门的清洁度以及阀门油漆的的完整度。

阀门上的灰尘要用毛刷之类的打扫和压缩空气吹扫，螺纹螺母之类的地方要用抹布擦洗;阀门上的油污和记住残渣适于蒸汽吹扫，甚至用铜丝刷刷洗，知道加工面，配合面显出金属光泽，油漆面显出油漆本身为止。塑料蝶阀应该要有人专门负责，每班都要检查一次，定期打开冲洗阀进行冲洗，或定期拆卸冲洗，以免脏物堵塞阀门。

1、减压阀应存放在干燥的室内,通路两端必须用盲板堵塞,不准堆置存放。

2、长期存放的减压阀应定期检查,清洗污垢,在各运动部位及加工面上应涂以防锈剂,防止生锈。